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                          在洁净工程中洁净室内的温度和博天堂918AG旗舰厅注册气压如何控制
                          1、洁净室中的温湿度的控制
                          洁净空间的温湿度主要博天堂918AG旗舰厅注册是根据工艺要求来确?认,但在符合工艺要求的条件下,应考?虑到人的感受。随着空气洁净度要求的增加,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
                具体工艺对温度的要?求以后还要列举,但作为博天堂918AG旗舰厅注册总的原则看,由于加工精度越来越细 ,所以对温度博天堂918AG旗舰厅注册波动范围的要求越来越小。例如在大规?模集成电路生产的光刻曝光工艺中博天堂918AG旗舰厅注册,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
                          直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以要有+0.1度的恒温,同时?要求湿度值一般较低,因为博天堂918AG旗舰厅注册人出汗以后,对产品将有污?染,怕博天堂918AG旗舰厅注册钠的半导体车间,这种车间不宜高博天堂918AG旗舰厅注册于25度。
                          湿度过高的话,所产生的问题也会有很多。相对湿?度大于55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在电路博天堂918AG旗舰厅注册中,就会引起事故。相对湿度在50%时易生锈。
                          此外,湿度太高时将通过?空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面很难清理。
                          相对湿度越高博天堂918AG旗舰厅注册,粘附就很难去掉,但当相对湿度低于博天堂918AG旗舰厅注册30%时,又由于静电力的作用使粒子博天堂918AG旗舰厅注册也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生博天堂918AG旗舰厅注册击穿。对于硅片生产温度范围为35~45%。
                          2、洁?净室中的气压规定
                          对于大部分洁净空间,为了不让外界污染侵入,需要博天堂918AG旗舰厅注册保持压力(静压)高博天堂918AG旗舰厅注册于外部的压力(静压)。压力差的维持一般应符合以下原则 :
                          (1)洁净博天堂918AG旗舰厅注册空间的压力要高于非洁净空间的压力。
                          (2)洁净度类别高的空间的压力要高于相邻博天堂918AG旗舰厅注册的洁净度类别低的空间的压力。
                          (3)相通洁净室之间的i门要开向洁净度类别?高的房间。
                          压力差的博天堂918AG旗舰厅注册维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差 下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄风量通博天堂918AG旗舰厅注册过洁净室的缝隙时的阻力。
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                2020/05/09 11:02:58 58 次

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